中國本土設備再下一城 盛美首款KrF前段塗佈顯影機台出貨
- 謝昇輝／台北
在全球半導體產業格局加速重塑的背景下，中國本土設備廠商正積極推動技術突破與產業化進程。盛美半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱「盛美」）宣布，推出首款KrF製程前段塗布顯影機台——Ultra Lith KrF，代表公司在成熟製程前段曝...
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