FlowVIEW液態材料檢測技術獨步全球 滿足跨產業應用需求

奈米級液態材料檢測。邑流微測

隨著相關製程持續進化，發展超過半世紀的半導體，現今已成為與人類生活密不可分的重要技術，無論是人手一機的智慧型手機，又或者汽車等，都需要相關晶片才能運作。而對於半導體產業而言，除了必須大舉投資研發，提高良率、邁向高階製程之外，如何確保晶圓平整性的研磨液(Slurry)，是否符合產線使用標準，也是非常令人頭痛的難題。邑流微測(FlowVIEW)推出的FlowVIEW AOI出液態材料全方位解決方案，則可解決此類問題，有助於產業加速向高階製程邁進。

問世超過百年的光學顯微鏡，隨著製程朝向奈米化發展，至今有三大問題難以克服，包括難以觀測200nm以下的樣品、且容易受到奈米氣泡干擾，造成數量不正確、光學訊號過低，過小粒子的數值會缺乏穩定度，不敷先進製程所需等。因此，現今半導體、能源電池及生醫美妝產業，也陸續改用電子顯微鏡，只是對液態樣品來說，電子顯微鏡仍存在兩大使用限制，「受限真空環境，無法觀測液態樣品原貌」、「需乾燥化前處理」，迫使業者仍須尋求更合適的解決方案。

FlowVIEW總經理李信宏說，電子顯微鏡的真空腔體，會使得待觀察的液態樣品因乾燥產生聚合現象，導致觀測結果失真。因此液態樣品在觀察前，必須經由烘乾、冷凍切片等繁複的前處理手續，勉強維持樣品結構不坍塌，但仍然無法直接觀測液態樣品的真實原貌。FlowVIEW以In-situ Liquid Microscopy、Liquid Automation、AI Image Processing等三大核心技術推出的Flow AOI全方位液態解決方案，可突破現有檢測技術侷限，運用獨家顯微流體晶片系統在電子顯微鏡的真空腔體內創造大氣環境，保存液態樣本原貌。並結合高階AI影像分析軟體，提供原始級、奈米級的影像式觀測結果，且解析度為目前業界可提供之最高解析度。(解析度超過160,000倍)

獨家專利技術 盼能樹立全球奈米檢測儀器的新標準

2017年自工研院量測中心Spin-off的FlowVIEW，以獨家專利技術打破過去液態檢測之侷限， 滿足各領域對奈米級液態材料的檢測需求。該公司創立以來，即獲得許多獎項的肯定，2019年即獲得Computex d&i Award、Audi Innovation Award、Skydeck Berkeley入圍等榮耀。該公司屢屢獲得肯定的關鍵，在解決方案能完整呈現液態材料的原始狀態，搭配其他獨家技術，可提供多元且智慧化的奈米級液態材料全自動分析服務，滿足不同產業應用需求。

李信宏表示，FlowVIEW推出的Flow AOI全方位液態解決方案，涵蓋Aquarius Starter kit (奈米級液態材料檢測) 、AI Particle Imager(全自動微流影像分析儀)、In-line multi-channel liquid particle inspection system(線上多通道液體粒子檢測系統)。其中，Aquarius Starter kit最大特色，在於液態樣品不須進行前處理，只需30秒即可完成樣品封裝，運用電子顯微鏡最高可觀測到7奈米，非常適合半導體產業、能源電池產業、生醫美妝產業等使用。

而AI Particle Imager為台灣唯一完整AI影像式光學流體檢測解決方案。突破目前倚靠間接證據判讀的窘境，提供更準確的實驗數據資料，不僅具備辨識半透明顆粒、氣泡與不規則外緣、微生物種類分析等，可應用於LCD面板廠蝕刻用溶液分析、半透明物質累積統計與工廠廢水之微生物種類辨識等，且1分鐘可分析超過10萬筆數據，適合應用在環境工程、生醫製藥、半導體產業、能源電池產業。

至於In-line multi-channel liquid particle inspection system則是專為半導體產業、生醫美妝產業設計，可直接與產線營運機台整合，提供自動化多點位分析之外，也能24小時即時回傳有效數據，確切監控微奈米粒子數量變化、掌握水質與處理槽系統狀態，提升清洗製程的效率。

在此獨步全球的技術加持下，FlowVIEW已經與臺、日、韓、歐美等地的半導體、化工業者等，建立緊密的合作關係，且合作客戶正在持續增加中。目前FlowVIEW已申請進駐TTA南部中心，未來更將持續深耕台灣並擴大國際市場，全力朝成為奈米生物安全檢測儀器之領導品牌邁進，期盼能建立未來十年歐盟及美國FDA的奈米檢測儀器新標準。

本文原刊載於TTA雜誌2022年1月號，更多新創團隊故事歡迎至TTA雜誌瀏覽。