EUV光罩技術發展前景樂觀
- 劉慧蘭／綜合報導
隨著極紫外光(EUV)微影技術移向生產，半導體界對EUV的信心亦不斷提高，但仍需光罩等基礎相關技術的配合才能順利應用於量產。據Semiconductor Engineering報導，EUV光罩基礎設施牽涉數種技術，這些技術目前的發展階段不盡相同。多電子束光罩...
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