日JSR收購美Inpria 光阻劑實力再強化
- 蔡靜珊／綜合報導
日本光阻劑大廠JSR宣布以5.14億美元購併美國同業Inpria。Inpria光阻劑分子大小僅現行標準的20%，自始即為半導體先進製程所採用的極紫外光(EUV)技術而生。這樁購併案一方面可能影響半導體製程節點微縮技術的未來發展，一方面也將進一步強化日本廠商對關鍵材料...
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