台積贈工研院3部12吋高階製程設備 助產學研發接軌國際
- 陳玉娟／新竹
工研院16日宣布，在經濟部協助下，取得台積電捐贈3部12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備，將大幅提升對產業界以及學術界的服務量能，並培育半導體高階人才，強化科技國力。
工研院電子與光電系統研究所所長張世杰表示，...
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