南韓自立自強 DCT成功商用旋轉塗布硬罩
- 杜振宇／綜合外電
南韓半導體材料中小企業DCT Material與官方機構合作，開發出高深寬比構造記憶體所需旋轉塗布硬罩(Hard Mask)材料，將有助南韓半導體廠減少自海外進口。隨半導體朝高積體度發展，高深寬比製程比重亦揚升，對光罩輔助材料之一的硬罩需求也將增加。
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