低成本GaN基板 三菱化學2022年供貨
- 范仁志/綜合外電
為壓低GaN基板製造成本,日本化學大廠三菱化學(Mitsubishi Chemical)在2017年開發出新的液相沉積技術,超臨界氨酸處理(Super Critical Acidic Ammonia Technology;SCAAP),2020年改良出更低成本的SCA...
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