ASML啟動火災災後恢復計畫 DUV、EUV生產應不受影響
- 陳端武／綜合外電
半導體設備大廠ASML柏林廠在1月3日發生火災。該工廠生產ASML微影機的晶圓台、夾具、光盤罩和反射鏡等關鍵零組件。ASML現已啟動恢復計畫。 本文限「科技」會員閱讀，請登入會員，或歡迎「申請加入會員」！
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