中芯國際下訂EUV微影設備 紹興8吋廠預計2020年投產
- 李佳榕／綜合報導
中芯國際日前傳出已向ASML訂購大陸首台極紫外光(EUV)微影設備的消息，預估2019年交貨，如此次採購成功，將有助於推進大陸半導體製造產業發展。此外，該公司位於紹興的8吋晶圓廠已於5月18日正式動土，預計於2020年1月正式投產。
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