FinFET和FD-SOI製程控制的挑戰
- 劉慧蘭／綜合報導
FinFET和FD-SOI製程技術雖然都面臨設計和處理系統性缺陷的增生、製程利潤削弱以及變異增加等挑戰，但基於兩者在架構和材料上的根本差異，在開發下一代FD-SOI和FinFET技術所需的製程時，必須採用特定的製程控制策略，才能幫助晶圓廠偵測、量化和解決...
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