EUV世代來臨供應鏈先開戰 美商Entegris控家登侵權 一審判賠近10億元
- 陳玉娟／台北
7奈米以下先進製程關鍵推手的極紫外光(EUV)微影技術，量產階段即將到來，包括台積電、三星電子(Samsung Electronics)及英特爾(Intel)將陸續進入EUV世代，然EUV大戰尚未正面交火前，供應鏈已先開打。全球2大極紫外光光罩傳送盒(EUV ...
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