加速光阻劑南韓自產 東進世美肯傳再添曝光設備
- 范維君／綜合報導
南韓半導體材料業者東進世美肯(Dongjin Semichem)傳為了加速南韓光阻劑(PR)自製，可能再度添購氟化氬(ArF)曝光設備。日前也傳出東進世美肯計劃2020年上半，量產供應10餘種光阻劑，目前正如火如荼進行產品測試。
據ET N...
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