光阻劑新創Inpria三度獲三星注資 傳台積電亦參與投資
- 林瑜淳／綜合外電
三星電子(Samsung Electronics)傳對美國光阻劑新創業者Inpria進行追加投資，持續朝向副會長李在鎔提出的系統半導體發展願景邁進。極紫外光(EUV)是應用在晶圓代工超微細製程的新一代技術，三星對相關領域企業投資不遺餘力。
據...
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