台積電首創乾式EUV光罩潔淨技術 改善效益達20億元
- 陳玉娟/新竹
台積電積極導入極紫外光(EUV)微影製程技術,協助客戶快速實現先進產品設計,為提升EUV良率並實踐綠色製造使命,研發「乾式EUV光罩潔淨技術」進一步取代傳統的沖洗流程,透過分析落塵、排除汙染源的方式,成功使機台內每1萬片晶圓曝片的落塵數從數百顆減少到個位顆...
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