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台積電首創乾式EUV光罩潔淨技術 改善效益達20億元

  • 陳玉娟新竹

台積電積極導入極紫外光(EUV)微影製程技術,協助客戶快速實現先進產品設計,為提升EUV良率並實踐綠色製造使命,研發「乾式EUV光罩潔淨技術」進一步取代傳統的沖洗...

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