台積電向ASML天價High-NA EUV設備「說不」 三大底氣其來有自
- 陳玉娟／新竹
ASML推出0.55數值孔徑的High-NA EUV設備，試圖延續摩爾定律，市場原預期台積電將率先導入，然卻按兵不動。台積全球業務資深副總張曉強於北美技術論壇直言，2029年前暫無導入High-NA EUV計畫，主要就是「太貴了！」
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