晶圓晃動現象困擾三星、台積電多年 南韓設備智慧化業者有解
- 江承諭／首爾
半導體先進製程持續推進，影響良率與設備穩定性的因素更加複雜，「晶圓晃動（wobbling）」現象為長期困擾三星電子（Samsung Electronics）、SK海力士（SK Hynix）與台積電等半導體業者的問題之一，南韓設備智慧化解決方案業者GSF Solu...
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