資騰SEMICON China鎖定埃世代需求 展出刷輪助先進製程良率
- 郭靜蓉／台北
佳世達集團旗下資騰科技參加2026年SEMICON China國際半導體展，將展示化學機械研磨（Chemical Mechanical Polishing；CMP）超潔淨空氣PVA刷輪。資騰指出，因應埃（Angstrom）時代對晶圓潔淨...
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