台積電EUV機台採購破50台 美光DRAM EUV評估可望提前
- 陳玉娟、韓青秀／台北
台積電加速先進製程推進，近期擴大釋單，累計EUV機台至2021年底將超過50台；相較之下，三星電子(Samsung Electronics)2021年還不到25台，且EUV POD(光罩傳送盒)採購量遠低於預期，從2大設備、零組件採購已可窺見台積電、三星製程與...
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