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台積電EUV機台採購破50台 美光DRAM EUV評估可望提前

  • 陳玉娟、韓青秀/台北

台積電加速先進製程推進,近期擴大釋單,累計EUV機台至2021年底將超過50台;相較之下,三星電子(Samsung Electronics)2021年還不到25台,且EUV POD(光罩傳送盒)...

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