EUV雙重曝光風險高 3奈米靜待high-NA新機2022試產成效
- 梁燕蕙／綜合報導
無論是台積電從2019年初第二代強化版7奈米製程才開始導入EUV技術，抑或是號稱率先採用7奈米EUV製程技術的三星電子(Samsung Electronics)，直到2019年下半才終於解決良率開出問題，正式量產7奈米EUV晶片，全球兩大晶圓代工業者如今皆已...
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