ASML：高數值孔徑EUV原型機2023上半年完成
- 梁燕蕙／綜合報導
英特爾(Intel)執行長Pat Gelsinger多次宣稱要在2024~2025年間勝出台積電、重回半導體先進製程領先地位，更宣稱將搶先導入ASML新世代之高數值孔徑(high-NA)極紫外光(EUV)掃描機，根據ASML高層透露，原型機預計在2023上半年...
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