因應3D IC成長 日設備商忙擴產
- 江仁傑／綜合報導
日本的半導體檢測設備製造商正在擴充產能，增產可以檢測晶圓針測設備（Wafer probing machine）與3D IC的設備，以因應精細化製程與3D IC不斷成長的需求。日經新聞（Nikkei）報導，由於10~20奈米記憶體與邏輯IC等...
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