科林研發推協作機器人 精確維護晶圓廠設備
- 蔡靜珊／綜合報導
美國蝕刻、沉積與清洗設備大廠科林研發（Lam Research）近期推出Dextro協作型機器人，協助提升晶圓廠設備維護工作的執行精確度以及效率。目前這款機器人搭配蝕刻設備使用，已部署至全球各地多座先進晶圓廠當中，未來有望將應用範圍擴張到更多種類的設備。
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