中國首台NIL正式出貨 300+廠家眾志成城攻EUV難題
- 林佑真/台北
在美國對中國極紫外曝光機台(EUV)及針對相關軟硬體技術出口管制背景下,中國半導體設備領域傳來突破性進展。一台由璞璘科技(杭州)有限公司自主研發的首台半導體級步進奈米壓印曝光系統「PL-SR系列」,宣布於8月1日正式出貨給下游客戶。據了解,客戶主要以生產特...
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