三星泰勒廠設備訂單現端倪 傳將導入南韓國產EUV光罩護膜
- 陳玟靜／綜合報導
三星電子（Samsung Electronics）傳將在美國德州泰勒廠導入極紫外光（EUV）光罩護膜（Pellicle），並為此已與南韓設備供應商FST簽訂相關設備合約。據韓媒ET News引述業界消息，三星已為泰勒廠下訂EUV光罩護...
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