EVG塗佈顯影平台重大更新 助攻台積電等產能與製程精度升級
- 陳玉娟／新竹
入列台積電供應鏈的奧地利半導體設備大廠EV Group （EVG），近日發布新世代EVG 120全自動光阻塗佈系統，為塗佈/顯影平台之一的重大更新。EVG表示，新系統架構相較於前一代產品，顯著提升產能、更大的靈活性和改進的製程控制，針對產品種類繁多且光阻製...
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