日立先進科技CD-SEM 擬投資增產50%
- 范仁志／綜合外電
因AI半導體需求成長，日本電機大廠日立製作所（Hitachi）旗下精密設備廠，日立先端科技（Hitachi High-Tech），已擬訂增產先進半導體製程必要的精密封測裝置CD-SEM，目標是2030年將產能提高50%，具體增產投資計畫、以及是透過調整生產線還是...
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