三星4奈米測試S&S Tech EUV空白光罩 南韓材料自產再推進
- 蔡云瑄／綜合報導
三星電子（Samsung Electronics）傳於實際量產環境的4奈米晶圓代工製程中，測試S&S Tech的極紫外光（EUV）空白光罩（blank mask）。為三星首度將S&S Tech的EUV空白光罩樣品導入量產線驗證，被視為推動南韓關鍵材料自產的重...
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