上海愛晟納DUV量產有操盤手？ 傳「國務院級」專家親參主導
- 謝昇輝／台北
中國曝光設備自主化近期傳出新進展。上海愛晟納電子科技集團研發的28奈米浸潤式深紫外光（DUV）曝光機，已完成首批5台設備交付，顯示中國自主曝光設備發展正逐步從技術研發，邁向晶圓廠量產驗證階段。不過，曝光設備發展的關鍵，不僅在於光源、...
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