台積張曉強:A14製程仍不採high-NA EUV
- 楊智家/綜合報導
台積電23日於加州舉辦的北美技術論壇,揭露下一代A14先進製程技術,是否會採用高數值孔徑(high-NA)極紫外光(EUV)微影技術受到矚目。對此,台積電業務開發資深副總裁張曉強在論壇上表示,台積電將不...
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