中國中科院EUV技術新突破 成功建立光源實驗平台
- 謝生輝／台北
在全球半導體產業格局因技術封鎖與地緣競爭而日趨複雜之際，中國科研重大領域再傳捷報。近日，中國科學院上海光學精密機械研究所（簡稱上海光機所）宣布，在極紫外光（EUV）曝光關鍵技術取得重大突破，已成功建立EUV光源實驗平台，為中國擺脫半導體領域「卡脖子」往前再...
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