ASML揭新光源突破增EUV產能50% 2030年每小時可望產330片矽晶圓
- 楊智家／綜合報導
荷蘭ASML研究人員表示，已研發出一種提升極紫外光（EUV）微影設備光源功率的方法，可在2030年前將晶片產量提升多達50%。ASML EUV光源首席技術專家Michael ...
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