科技1分鐘:混合鍵合機(hybrid bonder)
- 林廷宇
混合鍵合機(hybrid bonder)被視為實現3D IC與高頻寬記憶體(HBM)封裝的核心設備之一。該技術透過「無凸塊」(Bumpless)互連方式,直接將銅金屬(Cu)與介電層材料(SiO₂)同時進行鍵合,實現奈米級精度的晶片連接。
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