科技1分鐘：原子層沉積（ALD）製程
- 許經儀
半導體製造中，原子層沉積（Atomic Layer Deposition；ALD）為一種精密的薄膜沉積技術，為實現微縮與三維技術的重要基礎。若將晶片製造比喻為建造一棟房子，薄膜沉積即是在基板上堆疊建材的過程。綜合國際半導體產業協會（S...
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