林本堅：半導體涵蓋不同關鍵技術 單一國家難壟斷
- 陳玉娟／新竹
清大半導體研究學院院長暨台積電-清大聯合研發中心主任林本堅，2日於東京舉舉行的「2024 Taiwan Semiconductor Day」發表主題演講。
林本堅表示，浸潤式微影和極紫外光微影技術，是量產個位數奈米半導體的關鍵，當製...
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