攜手易發強化產品服務 Pentamaster克服SiC檢測可靠性挑戰
- 尤嘉禾／台北
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可在高溫和高壓環境下運作的SiC，在工業自動化、汽車等領域深具發展潛力，不過SiC仍需克服測試過程中高溫、可靠性、穩定性等挑戰，在台灣電子設備協會舉辦的「化合物半導體國際論壇」中，馬來西亞自動化設備製造商Pentamaster（檳傑科達）營運長尤進德就深入剖析目前SiC的製程測試痛點與該公司的解決方案。
Pentamaster深耕晶圓檢測技術多年，其產品側重後段封裝，近期與專注前端製程設備的易發精機攜手合作，除了藉由Pentamaster的晶圓級老化測試機滿足SiC客戶的全製程測試需求外，雙方的客戶服務資源也可互補，提供台灣、馬來西亞兩地客戶在地化服務。
針對SiC測試過程面臨的挑戰，尤進德指出目前有五大挑戰，首先是高溫環境測試，測試設備需在高達 200°C的極端溫度下穩定運作，以精準模擬SiC元件的實際使用情形。其次是長時間老化測試，SiC需經過長時間高溫高壓測試，方能及早發現並排除初期失效問題。第三是閘極穩定性監控，在高壓高溫環境下，閘極氧化層容易劣化，導致閘極電壓漂移，因此測試過程中需密切監控閘極的穩定性。第四是精確漏電流測量，漏電流和絕緣破損在高壓應用中經常發生，測試設備必須精確測量極低漏電流，確保SiC的安全與效能。最後是 全面老化解決方案，由於SiC元件常處於高壓高功率環境測試方案需涵蓋從單晶片到多晶片系統的全面性老化測試，以模擬及驗證元件在極端條件下的性能表現。
為協助客戶因應上述挑戰，Pentamaster推出Trooper解決方案，此系列設備統完全自動化，無需人工介入，可大幅提升測試效率與一致性。Trooper解決方案系列包括三種型號產品，BI-1單晶片夾持系統是專為實驗室研發和低量生產設計，適用於初期產品開發和小批量測試。BI-2雙晶片夾持系統適合較大批量生產，提供更高測試通量且不損及測試精確性。BI-4 & BI-6型號四晶片和六晶片夾持系統是專為高產量生產需求設計，可處理大量晶片，明顯提高生產效率。
尤進德營運長表示，Pentamaster的Trooper解決方案均可承受高達200°C的操作溫度，並配備獨特的2合1探針卡，且無須更換探針卡就可進行多種測試。在老化過程前後，系統還會進行Vth測量，評估晶片在極端條件下的穩定性和可靠性。此外，系統的即時監控漏電流（IDSS）和閘極源漏電流（IGSS）功能，則可及時察覺任何潛在異常，有效預防產品故障。
Trooper解決方案還可精確測量低至少於5nA的漏電流，保障測試結果的高度精確性。每一晶圓的個別晶粒都配備有獨立的老化電路保護，確保測試過程的晶粒安全性，防止不良晶粒對整體系統造成影響。
尤進德營運長最後提到，隨著SiC技術的快速發展，市場對其可靠性的要求也愈來愈高。Pentamaster的Trooper系列解決方案，可強化SiC可靠性缺陷的檢出和優化能力，協助客戶提升產品競爭力。
