科技1分鐘：ArFi曝光機
- 許經儀
ArFi曝光機主要由ASML研發製造，於2004年與台積電合作推出世界上第一台商用XT:1250i，當前ASML在浸潤式ArF微影領域佔據高市佔，Nikon則於2024年跟進推出NSR-S636E。ArFi此名稱為技術原理的縮寫...
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