傳中國EUV突破美國鎖喉 上海光源成功建置研究用EUV設備
- 范維君／綜合報導
中國正在加快極紫外光（EUV）設備的自主研發步伐，傳於上海開發出可實現15奈米級圖案的研究用EUV設備，未來有望推動先進半導體製造中，關鍵的微影製程研發速度。韓媒EBN引述半導體業界消息，稱中國已在位於上海的上海同步輻射光源（S...
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