科技1分鐘：電子束檢測設備

在先進半導體製程持續微縮的背景下，電子束檢測設備重要性正快速攀升，從過去的輔助工具，轉變為影響量產可行性與良率表現的關鍵設備。隨著製程節點邁向 7 奈米以下，線寬尺寸與缺陷尺度同步...

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檢測設備 EUV