汎銓高階Hitachi Regulus 8220 SEM開始上線服務
- 鄭斐文／台北
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Hitachi Regulus 8220 SEM。
Hitachi Regulus 8220為新一代的冷場發SEM，具有最佳的空間解析度與最小的能量發散，是分析先進製程IC失效／異常的利器。Hitachi Regulus 8220 SEM在不同CT的影像對比可以更清楚地呈現；且具有比之前型號較佳對比與空間解析度的Regulus 8220可以輕易地解析失效／異常位置。配備BSE感測器的Regulus 8220可以輕易觀察到下層失效／異常結構。
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