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海德漢於SEMICON展出一系列高精度產品

  • 鄭斐文

海德漢於2018年SEMICON TAIWAN,展出海德漢集團一系列的高精度產品:海德漢開放式光學尺與模組式角度編碼器、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺。同時,展出ETEL高精密運動平台Vulcano,於南港展覽館1樓J2740參觀,即能一睹ETEL高速運動控制系統的極佳制振功能。

新一代開放式光學尺LIDA400系列,包含新一代光學訊號處理單元(HSP)的光學尺;除相對較大的容許誤差便於現場組裝的施作,當光學尺在實際運作遇到因污染而訊號衰弱或異常時,新的ASIC晶片,可發揮其功能,透過光源的控制,使得光學尺讀頭仍能提供穩定的訊號輸出。

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海德漢於SEMICON展出一系列高精度產品。

RSF的增量式光學尺MS15獨特光學設計與安裝容許誤差較大的特色,降低了對污染的敏感度。此一系列採用獨特的掃描原理,允許高速度達10m/s。同時內建左右極限及原點訊號輸出,讓使用者能感受到機台運動狀態的穩定性。

Numerik Jena的增量式光學尺LIK與增量式旋轉編碼器RIK系列,輕薄短小特色適用於各種電子與半導體應用以及有限設備空間。也可依設備需求選擇真空的版本。

海德漢集團ETEL推出Vulcano XY精密運動平台結合ZT3H旋轉傾斜和Z軸模組適合用於晶圓的前製程段。機械軸承的設計在XY水平與垂直方向提供極高剛性,允許高加減速度(可達2.5g),最高速度(可達1.5m/s),優異的雙向重複精度(X軸與Y軸:±350nm)以及奈米等級的定位穩定性。Vulcano內建高速高精度控制器AccurET VHP與主動式制振平台QuiET,能大幅增強高速高精度運動性能,適合應用於奈米等級的量測機台。

在高速轉塔式的IC handler 應用,ETEL提供了高速RTMBi旋轉分度DD系列,TMMA系列高速音圈Z軸,和AccuET控制器的整合方案,實現了零整定時間,TMMA音圈10億趟以上的高壽命,和經濟且高性能的sensorless精密力量控制,已有應用實績,且性能表現深受認同。

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