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技術、安全、服務三者兼具 汎銓提供高品質MA服務

  • 鄭斐文

台灣是全球半導體重鎮,其晶圓代工製造模式,讓半導體生產鏈走向專業分工,改變了全球電子業生態。由於半導體製程先進,不但生產流程中每一環節的都有高技術含量,且設備金額投資也都相當龐大,尤其是材料分析(MA)部分,唯有透過精密儀器與長時間累積的專業知識,才能在有限的時間中,找出最精準的結果,在半導體材料分析深耕多年,其分析功力廣受全球半導體業者肯定的汎銓科技,就是此一領域的佼佼者。

近年來物聯網、無人車、電動車等區是席捲全球高科技產業,不過這些應用都根基於半導體製程的不斷進步,汎銓技術長陳榮欽博士指出,為滿足半導體業者的材料分析需求,汎銓不斷強化其技術團隊的能力,他以半導體製程的進化為例,近年來電子設備的功能越來多元,在此同時體積又走向輕巧化,為因應此一變化,半導體的製程也不斷突破,從16奈米到7奈米、5奈米,結構已縮小超過一半,要進行的材料分析,一直以來都以電子顯微鏡為主要工具,為求解析度,現在則多使用穿透式電子顯微鏡,目前大型半導體製造商的樣品製備能力可以到7奈米,而汎銓則已經可達5奈米。

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汎銓科技技術長陳榮欽博士指出,半導體分析產業的技術含量相當高,汎銓科技以員工為優先留住人才,深化本身競爭力。

當然樣品厚薄不會是半導體分析的唯一重點,尤其在使用多層次介電材料的結構,為了防止其阻容延遲(RC Delay),都會採用低介電材料(Low-k),由於低介質材料容易因電子束的照射導致縮小、變形,為防止此一狀況,目前材料分析領域有多種作法,不過不外乎減少電子束照射能量與提升樣品強度兩種,汎銓在這兩方面都有獨到技術,其低介質材料的收縮比例已是業界最好。

除了半導體之外,汎銓也將此技術應用於其他較軟的材質,光阻就是其一,陳榮欽指出,半導體製程進到7奈米之後,極紫外光刻(EUV)成為重要技術,要使用EUV又可不讓半導體材料受損,這也是汎銓的強項之一。

對於台灣的MA與SA等半導體分析能力,自全球產業向來排在前段班,陳榮欽認為主要動力來自台灣半導體產業的技術實力,半導體產業不斷精進,提供分析服務的相關廠商也必須同步跟上,這幾年下來,半導體分析也越做越細,像是過去合在一起的MA與SA也開始分開,他指出之前的製程中,表面佔整體IC的比例較少,不需要特別獨立出來,不過隨著尺寸漸小,表面所佔的比例逐步增加,SA的比重就會提升,不過即便表面增加,結構與成分仍會是分析重點,而這方面的分析,除了傳統的探針外,穿透式電子顯微鏡還是主要工具,因此在此一工具,汎銓在技術面仍會持續強化競爭力。

從整體產業面來看,陳榮欽認為台灣在半導體的材料分析,特別是以穿透式電子顯微鏡為工具的分析技術做出的品質、效率,都居全球首位,他指出台灣廠商所做的半導體技術分析,已是商業體制的一部分,無法像學術研究單位可以進行長時間的分析,半導體廠商有時間壓力,必須在短時間內完成一定要求的分析程序,這部分台灣無論是質與量都是全球第一。

至於化合物半導體近年來的市場逐漸放大,新材料的分析會否對汎銓的MA帶來考驗,對此陳榮欽則指出,射頻需求快速成長,尤其是即將問世的5G,的確讓化合物半導體的應用越來越多,然而MA主要觀察的還是結構與元素,現在的工具和技術已可因應,其做法也與現在相去不遠。新材料帶來的考驗主要會落在半導體製程工程師身上,製程工程師必須了解新材料的特性,並將之與製程整合,汎銓則可藉由長期在材料結構的專業知識,分析判斷出新材料結構與製程的結合是否與工程師判斷一致,或是結構中有無影響電性的雜質,藉此協助工程師順利設計製程並提高良率。

對於汎銓的強大技術能力,陳榮欽認為團隊是最重要的力量,目前汎銓技術團隊成員不只都是碩博士,且對此一產業具有熱情,而汎銓也用夥伴的心態與做法善待員工。他指出一般企業獲利後,股東分紅都是第一順序,汎銓則是以員工為優先,這也讓汎銓的團隊離職率多年來都在1%左右,低流動率的人員,讓汎銓可以維持其技術優勢,陳榮欽表示,半導體材料分析產業的技術含量相當高,如果人員頻繁異動,團隊耗費在基礎的技術培訓時間會相當長,進而壓縮到可有效產出的時間,因此他認為,善待員工對於勞資兩端都會是雙贏的做法。

除了技術能力,陳榮欽認為客戶資料保存也是汎銓的優勢之一,對半導體製造商而言,數據可說是製程命脈,不但需要長期留存,而且不能外洩,對了保護客戶的資料,汎銓特別增設了資訊長一職與BOSD營運保全處,所設計的資安流程更取得ISO 27001:2013國際資訊安全管理系統認證,將其製程分析技術的機密保護提升至國安等級,提供客戶安全的分析服務環境。

汎銓的防護機制從一進企業接待處較開始,除了在入口處設置防尾隨閘門及金屬探測門外,無論是訪客或企業員工,在進出時也都必須檢查背包物品,並將相機、筆記型電腦、手機上的鏡頭貼上保密貼,並將多數區域列為禁地,嚴格控管非實驗室人員進出。

在軟體作法方面,汎銓為了避免客戶資料誤寄,特地為每一客戶設置專屬電腦與專線,個別客戶的電子郵件只能在個別不同的電腦收取,專線部分則是將郵件伺服器設在客戶處,透過系統化的流程設計,讓人為疏失的發生機率最小化,汎銓的防護機制不是自己說了算,客戶端包括台灣大型半導體製造商,也認同此作法。

對於未來規畫,陳榮欽表示半導體製程不斷的創新,過去被認為其製程極限會在3奈米,不過從目前廠商布局來看,2奈米甚至是1.4奈米都已有廠商宣布進行研發,而除了不斷縮小的製程外,半導體的新結構也持續出現,像是前幾年3D結構的FinFET,在越來越細微的體積與越來越複雜的結構,對MA業者帶來了嚴峻挑戰,作為半導體產業的重要後盾,汎銓將持續強化本身的技術實力,提供品質兼具的MA服務。

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