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高階製程產生多種有毒氣體 有賴持續監測控制

交通大學環境工程所講座教授蔡春進。

由於空氣汙染與肺癌、肝癌有高度的相關性,早在2013年國際癌症研究中心已將室外空氣污染物列為第一級致癌物。而隨著高科技產業持續邁向高精密製程,加上全球都市化程度日深,根據WHO研究報告指出,2018年約有700萬人因暴露在空污微粒之中而死亡。為此,各國政府早在多年前即制定相關法規,台灣亦在2012年增訂PM2.5空氣品質標準,也讓空氣品質逐年獲得改善。

交通大學環境工程所講座教授蔡春進指出,根據環保署統計資料顯示,台灣細懸浮微粒成份為硫酸根、硝酸根、銨根、有機碳及元素碳等,部分源自於境外傳輸,其餘則為工廠、車輛及其他污染源。由於高科技產業的高精密製程,會產生各種酸鹼廢氣、有機溶劑廢氣及毒性/燃燒性氣體等等,業者若沒有針對設備進行監控與處理,勢必會危害到員工與一般民眾的健康。

因應空氣污然日益嚴重,市面上氣體檢測工具也持續進步,如新世代氣膠儀器可連續自動監測、手動採樣等功能,除可量測質量濃度、數目濃度、化學成份外,也能稱重得質量濃度,後續做化學分析等。若要對酸鹼氣體進行24小時長期監測,則可使用平板式濕式分離器(PPWD),搭配線上即時化學成份分析系統,即可獲得大氣酸鹼氣體及PM2.5微粒水溶性離子的濃度。

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