志尚儀器提供高科技廠房微汙染監測整體方案 智慧應用 影音
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DTResearch0613

志尚儀器提供高科技廠房微汙染監測整體方案

  • 李佳玲台北

志尚儀器提供Series 9100 PPWD 微汙染採樣系統(可與離子層析儀結合)。志尚儀器
志尚儀器提供Series 9100 PPWD 微汙染採樣系統(可與離子層析儀結合)。志尚儀器

志尚儀器自1990年成立至今,不斷的充實自我研發能力,並積極與海內外相關研究單位合作,已從一個單純氣體分析儀器代理商的角色,提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution),現今又正式成立研發製造部門,正式踏足研發製造領域,成為具備由儀器諮詢→研發製造→儀器銷售→系統整合→分析校正服→儀器租賃,提供客戶完整治標暨治本的解決方案。

最新「無放射源」IMS 分析儀符合SEMI IRDS Roadmap 微污染分析

志尚儀器提供Series 6000 最新無放射性 IMS 微汙染酸鹼有機氣體分析儀。志尚儀器

志尚儀器提供Series 6000 最新無放射性 IMS 微汙染酸鹼有機氣體分析儀。志尚儀器

在SEMI IRDS Roadmap中所建議半導體廠中偵測AMC的分析方法為PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等,而IMS技術為目前最常用的監測方式,主要在於其價格相對較低與操作簡易,但是以往客戶都會因為使用了含有鎳63或是氚等放射性元素造成使用上有著不少的限制。

因此近年來志尚儀器一直努力不懈的與國外做相關技術的交流,目前已經成功的開發出最新一代的離子電泳分析儀(IMS),其設計納入了前幾代的優點:可以使用空氣做為Dopant外也可以採用化學Dopant,另外在電路上也採可以交換正負極的方式一機可分別偵測酸鹼兩種氣體,並且使用空氣為電荷供應源時可以同時量測多種酸性氣體(HCl/Cl2/HF/Acetic Acid/Nitric Acid/Total Acid); 此外可加溫的感測器設計可以避免樣品濃度過高造成汙染。

高科技廠房排放管道線上酸鹼氣體暨氣溶膠成分分析技術

此外志尚儀器還繼續與國立陽明交通大學蔡春進教授的進行更進一步的技術合作,並成功將蔡教授的Denuder技術進行商業化改良,並與ISO 17025實驗室結合,已經成功開發出新一代的AMC分析儀(PPWD-IC),除了可以針對大氣做成分分析也成功應用於高科技廠房有關酸鹼排放氣體(五酸一鹼)的線上偵測。

志尚儀器在交大環工所蔡春進教授的指導下,成功將原本使用在AMC領域的PPWD(濕式平行板氣液吸收器)用於排放管道中五酸一鹼的偵測,也可經由SDEP/PILS進行微粒中化學成分的分析;此外更與蔡教授合作發展新型的排放管道PM2.5光學式線上連續監控系統,針對高科技廠房中因為酸鹼氣體與高濕度造成光學系統的不準度設計特殊的前處理設備,更使用Beta-Gauge做雙重驗證確認數值準確度。

防止地球氣候繼續暖化 志尚提供相關溫室氣體(CxF)分析儀

由於溫室氣體效應造成地球持續暖化現象,溫室氣體的排放為現在高科技廠房重中之重的課題,志尚儀器代理國外知名的溫室氣體分析儀以光腔衰盪光譜(CRDS)與光聲光頻光譜(PAS)兩種技術,提供高科技廠房相關客戶高準確性或是高C/P值的溫室氣體分析技術,偵測極限低、準確性高,目前部分已裝設在台灣環保署的相關測站中,提供甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、一氧化二氮(N2O)、CxF等溫室氣體。

TAF 認證流率校正實驗室

另外志尚儀器成立至今為了不斷的追求品質目標以提供客戶最佳的售後服務,不僅通過ISO9001認證,之後又先後成立ISO 17025認證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate),並在ISO9001體系下提供客戶優質的氣體感測器(Gases Monitor)校正及大氣酸鹼氣體分析等服務。如需進一步志尚產品訊息,請上官網查詢。


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