動態模擬機能提供低成本高效MEMS測試

台北訊
手機功能日新月異的時代，促使微機電晶片應用於手機功能設計的情況也愈趨廣泛，諸如高度計、加速器、陀螺儀、磁力計、麥克風均運用於手機內，由於手機功能及輕薄短小的需求，致使微機電的產品的整合需求更是刻不容緩。微機電晶片的整合導致其測試的困難度及成本也因此相對提高，為了有效降低成本，並行測試及同一時間能測試多種功能的設備需求也應運而生。

由於業界需求能同時測試加速器、陀螺儀、磁力計的需求日趨強烈，也因為加速器、陀螺儀、磁力計均需要於測試時，各提供三軸旋轉的動態模擬，因此測試分類機如能提供此九軸的動態模擬將可有效降低測試成本。

並行測試更是另一項成本考量，由於微機電晶片的測試時間少則五、六秒，多則幾十秒，因此如果能夠同時測試數十顆甚至百顆晶片將可有效降低成本提高競爭力。然而微機電晶片是利用微金屬結構來偵測外力的變化，如果沒有於封裝完成後切割成單一產品時即先行測試，將因為測試時的外力產生產品些許的變形，導致產品測試時精準度的誤差。因此將微機電產品利用Strip Handler測試有極大的困難度。

為了因應業界需求Multitest提供了InCarrier的載具，可將切割後的微機電積體電路置於此載具，由於產品已經切割完畢因此測試時的外力不至於影響產品產生型變，如此利用Strip Handler達到同時測試數十甚至百顆晶片的目的。由於Strip Handler的轉換時間非常短暫，因此每小時產出量可高達上萬顆。利用InCarrier載具亦可用於使用於不同溫度上的測試，而且不同溫度測試的結果及資料都可輕易追溯，而且可以讓測試時的作業更為簡便。

Multitest也提供各種三軸、六軸及九軸的動態模擬機能同時測試加速器、陀螺儀及磁力計並結合Strip Handler及InCarrier載具將可有效大大降低測試成本及增加產出量以應市場的龐大需求。相同的只要換上聲源模擬器亦可測試微型麥克風。
（本文由Multitest Electronic Systems(Taiwan)提供，記者陳萍整理。）