汎銓發表最新SEM EDS分析
- 鄭斐文／台北
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a) Cu，b) O，c) Si，d) N與e) Ta。f)為所有元素疊加在一起呈現的結果。g) SEM放大照片。
汎銓最新引進的SEM EDS化學成分分析可以清楚地呈現厚度只有約10 nm的金屬層。SEM EDS針對Samsung Galaxy S8 CPU在6T-SRAM區域進行分析，偵測到5種元素，分別是Cu、O、Si、N與Ta。所有元素疊加在一起呈現的結果。能夠清楚呈現Cu線邊緣的Ta層厚度大約是9.2 nm到11.9 nm。未來在分析上能更加準確。
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