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布魯克斯提供半導體﹧光電業自動化解決方案

  • 陳妍蓁台北

半導體產業及光電產業為台灣現階段重要的兩項產業,由於半導體與光電產業投資額度相對龐大,因此如何有效建立產能並提升良率,成為各家製造商是否獲利的關鍵。

半導體產業方面而言,製造商在面對全球產業鏈的龐大競爭壓力,不斷要求更大的晶圓尺寸、更高的可使用率、以及更快的生產速率是為時勢所趨。對光電產業來說,面板製造商要求產線製程的高潔淨度與穩定度;LED製造商則需要絕佳的真空製程環境,這些產線上的需求可透過產線自動化獲得全面性的解決。布魯克斯自動化(Brooks)則為半導體及光電產業提供最佳的自動化解決方案。

Polycold XC-8800 HC cryochiller提供包括快速冷卻降溫,縮短生產週期時間和降低能源成本,更高的輸出和電源管理等功能。

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布魯克斯自動化(Brooks),為美國Nasdaq上市公司Brooks Automation, Inc. (Nasdaq:BRKS)投資在台設立,著重在半導體製造設備及其自動化設備之設計、銷售及諮詢顧問業務。

Brooks主要產品可分為三大類:在機台自動化(Tool Automation)方面,有機械手臂(Robot)、機台平台(Platform)、12吋晶圓載入機(Loadport)、對準線和定標(Alignment & calibration),其高穩定度的特性可有效協助晶圓廠提升產能。

在工廠自動化(Factory Automation)方面,有光罩自動化機台(Litho automation)、8吋晶圓載入機(SMIF)、射頻辨識系統(RFID),皆為十分具有競爭力的產品,其中ERGOSPEED II更已經安裝超過千個單位,遍佈於全球晶圓廠。最後,在真空產品(Vacuum System)解決方案則包括CTI幫浦真空器(CTI Cryo Pumps)、GP真空感測器(GP Vacuum Gauge),目前On-Board 500低溫真空幫浦更被應用於LED及OLED機台之上,並已證明可有效提升機台稼動率與產能。

布魯克斯自動化主力的機台自動化產品包括:真空和大氣Robot、工具平台和模組、裝載模組、設備前端模組和超乾淨的環境為隔絕處理設備,布魯克斯的核心技術能提供製造商最先進和最可靠的真空Robot及大氣Robot,是少數公司能夠擁有的高度技術產品。

目前台灣除了擁有專業的銷售團隊之外,也成立了機器手臂維修中心,為合作夥伴縮短維修時程。布魯克斯自動化提供OEM客戶標準化的製程機台,以加速其產品上市的時間及最佳的服務品質給最終用戶,以確保機台穩定與高生產率。