360°Research：LED用MOCVD機台

LED上游磊晶製程中，包括有機金屬化學氣相磊晶(Metal Organic Chemical Vapor Deposition；MOCVD)、液相磊晶(LPE)、分子束磊晶(MBE)等方式，其中，MOCVD為LED廠商主要採用的機台，原因是磊晶製程速度快(約4~5個小時)、量產能力佳，且適合應用在高亮度LED應用產品。

LED磊晶製程採高溫方式，溫度範圍介於攝氏750~1,100度，而目前世界主要製作LED用MOCVD機台業者，包括德商Aixtron、美商Veeco、及日本Nippon Sanso和Nissin Electric，其中，Aixtron市佔率全球第1。

南韓、台灣LED業者多採用Aixtron及Veeco的MOCVD機台，而Nippon Sanso與Nissin Electric所製造的機台多僅提供日本地區使用。