360°Research：Sony中大尺寸AMOLED TFT基板技術－µC-Si TFT
- 林芬卉
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AMOLED TFT基板技術μC-Si TFT製作原理
目前大尺寸LCD顯示器多採用a-Si TFT為基板，然若導入大尺寸AMOLED顯示器，則會產生起始電壓穩定度差，且電子移動速度慢(小於1cm2/Vs)等問題，導致AMOLED面板無法長時間穩定發光。
因此，Sony於中大尺寸AMOLED面板製作時，則採用μC-Si TFT為基板，其製作方式是採用dLTA(diode Laser Thermal Anneal)製程，針對α-Si部分進行鐳射回火處理，以提高矽(Si)的結晶性，故電子移動速度可達5~10cm2/Vs、起始電壓穩定度提高，達到AMOLED面板長時間穩定發光目的。
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