Veeco發表新型K465i高效能MOCVD設備 LED業界最低擁有成本機台 具備最高量產產能與生產良率

Veeco新型TurboDisc K465i GaN MOCVD機台。

在LED TV及LED照明市場的帶動之下，2010年的LED市場顯得相當樂觀，相關業者紛紛展開擴產計畫，也帶動了LED上游磊晶製程用的有機金屬化學氣相磊晶(Metal Organic Chemical Vapor Deposition；MOCVD)設備需求。其中，知名的MOCVD大廠美商威科(Veeco)，除了機台接單暢旺、營運逐季成長之外，日前更推出領先的最新機種，以因應市場客戶迫切的量產需求。

Veeco於1月19日正式發表其最新型的MOCVD機種--TurboDisc K465i GaN MOCVD，該款機台為目前LED業界最低擁有成本的高效益MOCVD設備，並且同時具備業界最高量產產能與業界最高生產良率。

Veeco大中華區總經理王克揚表示，K465i建構在之前推出並經過量產驗證的K465平台上，除了採用了Veeco最先進的TurboDisc反應室技術之外，並包含了新的Uniform FlowFlange技術，可達到最高的磊晶圓一致性與極佳的製程重複性。K465i同時使用新的材質的加熱器，壽命能超過9個月以上，大大的提高機台的使用率。

此外，K465i並提供簡化的機台操作設計，業者將可以很容易地調整機台，使其達到快速量產的標準；同時在機台維護保養之後，亦可迅速地回復到原先量產狀況。因此，TurboDisc K465i GaN MOCVD是一款以最少的設備投資即可獲致最高投資收益的先進機台。

在量產產能方面，已經過量產驗證的K465i自動化生產平台，產能將可高出40~120%，並且在保養維護作業後，一開始運轉即可恢復原量產階段。值得一提的是，Veeco最先進的TurboDisc反應室清潔技術，使得K465i得以延長每次保養維護的間隔時間，讓兩次保養維護之間的機台運轉次數達到最多。

在生產良率最佳化方面，K465i可以讓磊晶產品在波長5nm bin的良率達到90%，並可將波長的一致性與每次運行的波長重複性提升改善25%，同時可將微粒子(particle)的產生數量降至最低，因此可以獲致極佳的生產良率表現。

K465i在推出的同時，Veeco已接獲近70台K465i來自台灣及南韓大廠的訂單，並預計在今年第2季開始出貨。