Aerotech於SEMICON 2015展出奈米級定位平台

Aerotech QNP系列壓電奈米定位平台和QLAB系列壓電平台控制器。

美商艾羅德克(Aerotech)致力於運動控制系統開發，運動控制為工廠自動化的核心技術，應用於需要高精密定位控制或速度控制的生產設備或工具機，目前主要的運動控制器為CNC、PLC、脈波控制等。目前台灣所使用的運動控制器以中低階佔比最高，高階運動控制器相對較少。

工業4.0的浪潮之下，工廠自動化的提升更為所關注，若只是使用中低階的運動控制器難以達到高精準奈米級的定位能力。半導體產業於台灣佔比相當高，對於製程上的要求也越來越嚴苛，如何精進自動化生產設備已達最佳良率與高生產力，為各半導體製造商需解決的課題。

運動控制系統可應用於半導體各階段製程上，晶圓檢測、封裝、瑕疵檢測與偵測、CD-SEM、TEM、步進式微影、白光干涉等皆有相關應用。高階的運動控制系統可達奈米級定位，相對於一般的運動控制器具有更高精準的定位能力，穩定性也相對高，能提供更佳的生產良率。

Aerotech於SEMICON 2015(攤位：L1028)展出QNP系列壓電奈米定位平台、QLAB系列壓電平台控制器、PlanarDLA系列開孔式線性馬達XY平台以及ANT系列長行程線性馬達定位平台，分享高精密運動控制器為半導體製程帶來的變革。